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Das MYL10-Plasmasystem ermöglicht eine Hochdurchsatz-Oberflächenbehandlung für Leadframes.
• Argon-Plasmasystem unter Atmosphärendruck
• 100 mm breite Inline-Batch-Plasmaverarbeitung; bietet eine 2–5-mal höhere Effizienz und über 30 % niedrigere Betriebskosten im Vergleich zu herkömmlichen Methoden; Maximaler Durchsatz von 1.800 UPH
• Hoher Durchsatz, hochflexible Produktion: Möglichkeit zur Verarbeitung von Leadframes verschiedener Größen, einschließlich der gleichzeitigen Verarbeitung verschiedener Größen
• 100 % neutrales Plasma: sicher und schonend für empfindliche elektronische Komponenten; erzeugt keinen Plasmabeschuss, statische Elektrizität, Funken, Lichtbögen, Staub, hohe Hitze, Oberflächenwellen oder UV-Strahlung und stellt sicher, dass das Produkt nicht beschädigt wird
• Mehrere chemische Prozesse: O2-Prozess entfernt organische Verunreinigungen; Der H2-Prozess entfernt Metalloxide und aktiviert Produktoberflächen
• Keine Partikel- oder Flüssigkeitsverunreinigung auf dem Produkt
| Grundparameter | MYL10 |
| Leistungsanforderungen | Wechselstrom 200–240 V, 5 kW, 23 A, 50/60 Hz |
| Luftdruckanforderungen | 90 psi (6 bar) |
| Abmessungen | 1500 x 2100 x 2100 mm |
| Gewicht | 2500 kg |
| Zertifizierungsstandards | CE, SEMI S2 |
| Positionierungsgenauigkeit | XY: ±20 µm bei 3σ; Z: ±5 µm bei 3σ |
| Wiederholbarkeit der XYZ-Achse | XY: ±15 µm bei 3σ; Z: ±5 µm bei 3σ |
| Höchstgeschwindigkeit | 1000 mm/s (XY) |
| Beschleunigung | 1,0 g |
| Antriebssystem | AC-Servo |
| Parameter der Arbeitsplattform | |
| Schienentyp | Schiene |
| Anzahl der Schienen | 4 |
| Produktdickenbereich | 0,1–1 mm |
| Z-Achsen-Reise | 100 mm |
| Max. Durchsatz (UPH) | 1800 |
| Kommunikationsprotokoll | SMEMA |
| Arbeitsbereich | |
| Plasmabehandlungsbereich (B×T) | 300–1320 mm |
| Plasmabehandlungsmethode | O2-Verfahren zur Entfernung organischer Verunreinigungen H2-Verfahren zur Entfernung von Metalloxiden |
| Anforderungen an das Plasmasystem | |
| HF-Leistung | 600 W bei 27,12 MHz |
| Hauptplasmagas | Argon |
| Prozessgas | O2, N2 oder H2 |
| Druckbereich der Gasversorgung | 40–100 psi (0,3–0,7 MPa) |
Adresse
5. Etage, Gebäude 2, Nr. 182, Chang'an Xi'an Road, Stadt Chang'an, Dongguan, Provinz Guangdong, China.
Tel
