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Das MYS10SD ist ein vollautomatisches Inline-Plasmaverarbeitungssystem, das für Anwendungen in Bereichen wie Mini-LED, Elektronik, SMT, Optoelektronik und Medizintechnik entwickelt wurde.
• Großflächiges Argon-Plasmasystem mit Atmosphärendruck
• 100 mm breite Inline-Batch-Plasmaverarbeitung; bietet eine 2–5-mal höhere Effizienz und über 30 % niedrigere Betriebskosten im Vergleich zu herkömmlichen Methoden
• Die Oberflächentemperatur des Produkts bleibt während der Verarbeitung unter 45 °C
• Sofortiger Start ohne Aufwärmzeit, wodurch Produktionszeit gespart wird
• Kann ein breites Produktspektrum verarbeiten; unterstützt den flexiblen Wechsel zwischen Plasmaköpfen unterschiedlicher Größe
• Hochflexible, kompatible und kostengünstige Plasmaplattform
• Kann gezielt bestimmte Produktbereiche reinigen
| Grundlegende Spezifikationen | MYS10SD |
| Leistungsanforderungen | Wechselstrom 200–240 V, 3,2 kW, 15 A, 50 Hz |
| Luftdruckanforderungen | 90 psi (6 bar) |
| Abmessungen | 990*1300*1800mm |
| Gewicht | 680kg |
| Zertifizierungsstandards | CE |
| Positionierungsgenauigkeit | XYZ: ±50 µm bei 3σ |
| Wiederholbarkeit der XYZ-Achse | XYZ: ±25 µm bei 3σ |
| Höchstgeschwindigkeit | 600 mm/s (XY) |
| Beschleunigung | 0,6g |
| Antriebssystem | AC-Servo |
| Spezifikationen der Arbeitsplattform | |
| Förderertyp | Gürtel |
| Tragfähigkeit des Förderers | 3kg |
| Substratdickenbereich (ohne Träger) | |
| 0,5–10 mm | |
| Z-Achsen-Verfahrweg | 60 mm |
| Max. Bauteilhöhe (Oberseite) | 100 mm |
| Max. Bauteilhöhe (Unterseite) | 100 mm |
| Kommunikationsprotokoll | SMEMA |
| Arbeitsbereich | |
| Plasmabehandlungsbereich (B × T) | 475–480 mm |
| Kontaktwinkel nach der Behandlung (WCA) | WCA < 10° (Siliziumwafer) WCA < 20° (nichtmetallisch) |
| Plasmabehandlungsmethode | Ar+O2-Verfahren zur Entfernung organischer Verunreinigungen |
| Anforderungen an das Plasmasystem | |
| HF-Leistung | 250 W bei 13,56 MHz |
| Hauptplasmagas | Argon |
| Prozessgas | O2 |
| Druckbereich der Gasversorgung | 40–120 psi (0,3–0,8 MPa) |
Adresse
5. Etage, Gebäude 2, Nr. 182, Chang'an Xi'an Road, Stadt Chang'an, Dongguan, Provinz Guangdong, China.
Tel
